Tyhjiöpumppu muuttaa pumpun kammion tilavuutta tai välittää kaasun vauhtia mekaanisten tai fysikaalisten keinojen avulla paine -eron muodostamiseksi kaasuiden imun ja purkauksen saavuttamiseksi, jolloin tyhjiöympäristön luominen.
Tyhjiöpumpun toimintaperiaate on jaettu pääasiassa kahteen luokkaan: muuttuvan tilavuustyyppi ja vauhdinsiirtotyyppi. Erityiset periaatteet ja tyypilliset pumpputyypit ovat seuraavat:
1. Muuttuvan tilavuuden tyhjiöpumppu
Imu, puristus ja pakokaasu saavutetaan muuttamalla säännöllisesti pumpun kammion tilavuutta. Ydin on mekaanisen liikkeen aiheuttaman suljetun tilan muutos:
Vesirenkaan tyhjiöpumppu
Periaate: eksentrinen roottori pyörii heittämään työnesteen (kuten vesi) pumpun koteloon nestekorvan muodostamiseksi, ja nestemäisen renkaan ja terien väliin muodostuu puolikuun muotoinen muuttujatilatilatila. Kaasu imeytyy laajennuspuolelta ja purkautuu puristuksen jälkeen, kun tilavuus pienenee.
Ominaisuudet: isoterminen puristus, joka sopii syttyviin, räjähtäviin tai pölyisiin kaasuihin; Lopullinen tyhjiöaste on alhainen (2000 ~ 4000Pa).
Pyörivä siipi\/liukuventtiilin tyhjiöpumppu
Periaate: Roottorin eksentrinen kierto ajaa siipien tai liukuventtiilin liukumiseen, jakamalla pumpun kammion muuttuvien tilavuuskammioihin ja kaasun läpäisyn suorittaminen tilavuusmuutosten avulla.
Ominaisuudet: Öljytiiviste voi vähentää vuotoa, mutta voi saastuttaa kaasua; Kuivat variantit (kuten ruuvipumput) ovat öljytöntä.
Juuret tyhjiöpumppu
Periaate: Kaksoisroottorit pyörivät synkronisesti vastakkaisiin suuntiin, ja kaasunsiirto muodostuu rakotiivistymisen kautta. Sitä on käytettävä etupumpun kanssa tyhjiöasteen parantamiseksi.
14. Momentumin voimansiirto tyhjiöpumppu
Luota nopeaan nesteeseen tai mekaanisiin osiin vauhdin siirtämiseksi ja kaasun virtauksen suoraan:
Steam Jet Pump
Periaate: Nopea höyry virtaa lavalsuuttimen läpi matalapaineisen alueen tuottamiseksi, joka ajaa pumpattua kaasua sekoittumaan ja purkautuu sitten hajottimen läpi.
Sovellus: Soveltuu suuren virtauksen matalan tyhjennyksen skenaarioihin, kuten kemialliseen haihtumiseen.
Molekyylipumppu ja diffuusiopumppu
Periaate: Nopeat pyörivät terät tai höyrysuihkut siirtävät vauhtia kaasumolekyyleihin ja purkaa ne suuntaan suurella tyhjiöllä (enintään 10 ⁻⁵Pa tai vähemmän).
3. Muut luokitukset ja lisäravinteet
Orkistaminen tyhjiöasteella: matala tyhjiö (kuten nestemäinen rengaspumppu), keskikokoisen tyhjiön (juurpumppu), korkea tyhjiö (diffuusiopumppu).
Special Design: Esimerkiksi kiertävä vesi tyhjiöpumppu ylläpitää vesirenkaan stabiilisuutta täydentämällä jatkuvasti kylmää vettä automaattisen aloituksen ja pysähtymisen saavuttamiseksi.
Summary: Pölynpumppujen valinnan on otettava huomioon kaasun ominaisuudet, kohdeaste- ja ympäristövaatimukset. Muuttuvat siirtymäpumput soveltuvat karkeaan tyhjiöön, ja vauhdinsiirtopumput sopivat korkeisiin tyhjiöskenaarioihin.
